주사전자현미경,SEM

23371905

주사전자현미경,Carl zeiss microscopy,GB/EVO 10,1000000배 ,SEM

공동실험실습관

혜성관 주사전자현미경실

2018-06-27

Scanning Electron Microscope 2

Scanning Electron Microscope 2, 주사전자현미경,SEM

장비의 전자빔을 이용하여 시료 표면에서 검출되는 이차전자로 나노수준의 미세조직 및 구조를 관찰하고, 미세입자의 크기 및 형태 등을 분석하며, 표면의 거칠기도 이미지로 관찰할수있다. 또한 에너지분산분석기(EDS)를 부착하여 시료의 정성,정량 분석과 구성원소의 분포 확인 등을 할 수 있는 장비로써 이공계분야에 필수적이다. 금속, 무기재료, 반도체, 세라믹, 고분자, 생물 등 광범위하게 활용되어 대학 학부과정의 실험,실습교육과 졸업연구, 캡스톤디자인, 대학원생의 논문연구 및 교수의 R & D는 물론이고 산업체의 고장분석, 연구개발에도 공동으로 활용할 수 있다.

1. 이미지 분해능 - 2nm @ 30kV, 6nm @ 3kV, 9nm @ 1kV 2. 배율 : 7x ~ 1,000,000x 3. Electron optics 1) Electron gun type : LaB6 2) 가속전압 : 0.2 ~ 30kV 3) 탐침 전류 : 0.5pA ~ 5㎂ 4) 검출기 - 고감도이차전자검출기 : 콜렉터 바이어스 –250V ~ +400V - 4분할 후방산란검출기 : 1kV, 16mm다이오드 4. 챔버 및 스테이지 1) 챔버 - 내경 : 310㎜(내경) × 220㎜(높이) - 포트 : 챔버 및 도어 포트는 총8개 2) 스테이지 - 5축 전동 스테이지 - X=80mm, Y=100mm, Z=35mm, T=-10°~90°

문의

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정상

김보경

029707256